Process service

工艺服务

研究院搭建了全面的外延服务平台，针对化合物半导体材料和器件结构，提供基于先进的金属有机物气相沉积(MOCVD)和分子束外延(MBE)设备的材料和器件结构外延技术服务，重点面向砷化镓、磷化铟、氮化镓三大材料体系。目前拥有的都是该领域国际领先设备，能够覆盖绝大部分常见的化合物半导体材料。同时，也提供国产设备的验证和外延服务，未来降低材料成本。

研究院搭建了先进的工艺服务平台，已建成运行全球第二条、国内第一条六寸砷化镓先进器件工艺生产线，拥有电子束直写光刻机、普通光刻机、干法刻蚀机、磁控溅射镀膜机、电子枪蒸发镀膜机等整套芯片工艺系统，可以提供基于GaAs、InP和GaN等多种化合物半导体材料的边发射激光器、VCSEL、光电探测器等各类边发射和面发射激光器、探测器的工艺服务。

研究院搭建了特色的光电器件封装平台，拥有贴片机、真空回流焊、老化设备等封装焊接系统，能够提供TO、COS等常见的半导体激光器封装测试和老化服务。