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材料器件分析
Material device analysis
研究院搭建了完整的材料器件分析平台,拥有SEM、AFM、XRF、FIB、TEM、Hall等多台材料器件分析设备,具有较强的材料、芯片和器件的测试、表征和分析能力。未来将进一步完善和加强,逐步覆盖绝大多数化合物半导体材料、芯片和器件的测试表征。
SEM
AFM
XRF
TEM